ASML 8%대 급락·글로벌 반도체 장비주 줄하락
“성능 아직 뒤처져…EUV 개발도 시제품 단계”
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| 반도체칩 [로이터] |
[헤럴드경제=정목희 기자] 중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나오면서 네덜란드 ASML을 비롯한 글로벌 반도체 장비주가 일제히 급락했다. 미국의 대중국 수출 통제 속에서도 중국이 반도체 핵심 장비 국산화에 한발 다가섰다는 평가가 나오면서 네덜란드 ASML의 중국 시장 매출을 위협할 수 있다는 우려가 반영됐다.
블룸버그통신과 로이터통신은 27일(현지시간) 상하이의 한 국영기업이 액침 DUV 노광장비 생산을 시작했으며 반도체 장비 스타트업 위량성(宇量昇) 등 다른 중국 기업에서 연구개발 인력을 끌어모았다고 IT매체 디 인포메이션을 인용해 보도했다. 다만 해당 중국 기업의 이름은 공개되지 않았다.
이 보도에 이날 ASML 주가는 8.4% 급락했다. ASM인터내셔널(-7.3%), BE세미컨덕터(-9.9%), 어플라이드머티어리얼즈(-6.7%), 램리서치(-7.9%) 등 유럽·미국 반도체 장비주도 동반 하락했다.
디인포메이션에 따르면 이 회사는 올해 DUV 장비 5대, 내년에는 약 20대 생산을 목표로 하고 있다고 전했다. 다만 생산 기술은 아직 초기 단계에 머물러 있는 것으로 알려졌다. 올해 생산되는 장비는 중신궈지(SMIC)·화훙반도체·창신메모리(CXMT) 등 중국 반도체 제조사에 공급될 예정이라고 중국 매체 신랑재경이 전했다.
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| ASML [로이터] |
다만 중국산 DUV 장비가 당장 ASML의 경쟁력을 위협할 수준은 아니라는 평가다. DUV는 실리콘 웨이퍼에 미세 회로를 새기는 반도체 핵심 장비로, ASML은 지난해에만 액침식 DUV 장비 131대를 출하했다. 반면 중국의 생산 규모는 아직 극히 제한적이다.
성능과 신뢰성에서도 격차가 남아 있다. 중국산 DUV 장비는 제조 품질과 성능 면에서 여전히 ASML 제품에 미치지 못하며, 부품 대부분은 국산화했지만 일부 핵심 부품은 일본산에 의존하는 것으로 알려졌다. 현지 부품업체의 공급이 지연돼 올해 생산 일정도 다소 늦어지고 있는 것으로 전해졌다.
그럼에도 이번 보도는 미국의 대중 수출 통제에도 중국이 반도체 자립을 향해 진전을 보이고 있다는 신호로 평가된다. 미국은 첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출을 전면 금지한 데 이어 최첨단 액침식 DUV 장비 판매도 제한하고 있다. 현재 ASML이 중국에 공급하는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품이다.
그럼에도 중국은 지난 2분기 ASML의 세 번째로 큰 시장이었으며 ASML은 최근 일부 저가형 DUV 제품군 가격을 중국 고객사 대상으로 약 10% 인상하는 데 합의를 받아낸 것으로 전해졌다.
한편 파이낸셜타임스(FT)는 지난해 중국 최대 파운드리 업체인 SMIC(중신궈지)가 상하이의 스타트업 위량성이 개발한 DUV 노광장비 시험에 착수했다고 보도한 바 있다.
이 국영기업의 실체로 추정되는 위량성 또한 2024년 12월 미국 상무부에 의해 수출통제 대상 기업 목록에 추가돼 있다.
중국은 자국산 극자외선(EUV) 장비도 개발중이며 아직 시제품 단계로, 실제 가동까지는 수년이 더 걸릴 것으로 전망된다.
디인포메이션은 “미국이 노광장비 수출과 유지·보수 서비스 규제를 강화하는 상황에서 이번 기술 개발은 중국 반도체 기업들에 핵심 장비의 대체 공급원을 제공하는 계기가 될 수 있다”고 평가했다.
